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Microcrystalline silicon thin film transistors obtained by Hot-Wire CVD
Puigdollers i González, Joaquim; Orpella, Albert; Alcubilla González, Ramón; Dosev, D.; Pallarés Curto, Jordi; Peiró, D.; Voz Sánchez, Cristóbal; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Marsal Garví, Lluís F. (Lluís Francesc)
Universitat de Barcelona
Polysilicon thin film transistors (TFT) are of great interest in the field of large area microelectronics, especially because of their application as active elements in flat panel displays. Different deposition techniques are in tough competition with the objective to obtain device-quality polysilicon thin films at low temperature. In this paper we present the preliminary results obtained with the fabrication of TFT deposited by hot-wire chemical vapor deposition (HWCVD). Some results concerned with the structural characterization of the material and electrical performance of the device are presented.
Silici
Pel·lícules fines
Microelectrònica
Deposició química en fase vapor
Transistors
Semiconductors
Cèl·lules solars
Silicon
Thin films
Microelectronics
Chemical vapor deposition
Transistors
Semiconductors
Solar cells
(c) Elsevier B.V., 2000
Artículo
info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
Elsevier B.V.
         

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Dosev, D.; Puigdollers i González, Joaquim; Orpella, Albert; Voz Sánchez, Cristóbal; Fonrodona Turon, Marta; Soler Vilamitjana, David; Marsal Garví, Lluís F. (Lluís Francesc); Pallarés Curto, Jordi; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Alcubilla González, Ramón
Orpella, Albert; Voz Sánchez, Cristóbal; Puigdollers i González, Joaquim; Dosev, D.; Fonrodona Turon, Marta; Soler Vilamitjana, David; Bertomeu i Balagueró, Joan; Asensi López, José Miguel; Andreu i Batallé, Jordi; Alcubilla González, Ramón
Muñoz Ramos, David; Voz Sánchez, Cristóbal; Martin Garcia, Isidro; Orpella, Albert; Puigdollers i González, Joaquim; Alcubilla González, Ramón; Villar, Fernando; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Damon-Lacoste, J.; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
Puigdollers i González, Joaquim; Voz Sánchez, Cristóbal; Orpella, Albert; Martín, I.; Soler Vilamitjana, David; Fonrodona Turon, Marta; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Alcubilla González, Ramón