To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/20420

“Silicon millefeuille” : From a silicon wafer to multiple thin crystalline films in a single step
Hernández García, David; Todorov Trifonov, Trifon; Garin Escriva, Moises; Alcubilla González, Ramón
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Nanosilicon.
Crystals.
Microelectronics.
Controlled thickness
Crystalline films
Market applications
Microelectronics technology
Silicon interposers
Single crystalline silicon
Thin film crystalline silicon
Three dimensional integration
Nanotecnologia
Microelectrònica
Cristalls
Silicones
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
Article
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Hernández García, David; Garin Escriva, Moises; Todorov Trifonov, Trifon; Rodríguez Martínez, Ángel; Alcubilla González, Ramón
Garin Escriva, Moises; Hernández García, David; Todorov Trifonov, Trifon; Cardador Maza, David; Alcubilla González, Ramón
Garin Escriva, Moises; Hernández García, David; Todorov Trifonov, Trifon; Alcubilla González, Ramón
Vega Bru, Didac; Todorov Trifonov, Trifon; Hernández García, David; Rodríguez Martínez, Ángel; Alcubilla González, Ramón
Garin Escriva, Moises; Todorov Trifonov, Trifon; Rodríguez Martínez, Ángel; Alcubilla González, Ramón; Marquier, F.; Arnold, C.; Greffet, J.-J.
 

Coordination

 

Supporters