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“Silicon millefeuille” : From a silicon wafer to multiple thin crystalline films in a single step
Hernández García, David; Todorov Trifonov, Trifon; Garin Escriva, Moises; Alcubilla González, Ramón
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Nanosilicon.
Crystals.
Microelectronics.
Controlled thickness
Crystalline films
Market applications
Microelectronics technology
Silicon interposers
Single crystalline silicon
Thin film crystalline silicon
Three dimensional integration
Nanotecnologia
Microelectrònica
Cristalls
Silicones
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
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