Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/20390

Yield estimation model for lithography hotspot distortions
Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. HIPICS - Grup de Circuits i Sistemes Integrats d'Altes Prestacions
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria dels materials
Hot spot
Manufacturing yield
Yield estimation
Yield loss
Yield modeling
Litografia per feix d'electrons
Litografia
Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
Artículo
Institution of Electrical Engineers
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Cortadella Fortuny, Jordi; Petit Silvestre, Jordi; Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja
Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja
Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja
Gómez Fernández, Sergio; Moll Echeto, Francisco de Borja; Rubio Sola, Jose Antonio; Elhoj, Martin; Schlinker, Guilherme; Woolaway, Nigel
Machado, Lucas; Dal Bem, Vinicius; Moll Echeto, Francisco de Borja; Gómez Fernández, Sergio; Ribas, Renato P.; Reis, André Inacio