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Ellipsometric study of a-Si:H thin films deposited by square wave modulated rf glow discharge
Lloret, A.; Bertran Serra, Enric; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Morenza Gil, José Luis
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Semiconductors amorfs
Silici
El·lipsometria
Thin films
Amorphous semiconductors
Silicon
Ellipsometry
(c) American Institute of Physics , 1991
Artículo
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
American Institute of Physics
         

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