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A self-test and dynamics characterization circuit for MEMS electrostatic actuators
Fernández Martínez, Daniel; Madrenas Boadas, Jordi; Cosp Vilella, Jordi
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. AHA - Arquitectures Hardware Avançades
Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Hardware
MEMS
Microelectromechanical systems
Actuators -- Design and construction
Electrostatic actuators
Sistemes microelectromecànics
Actuadors
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