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Digital resonance for MEMS
Ricart Campos, Jordi; Pons Nin, Joan; Gorreta, Sergi; Domínguez Pumar, Manuel
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica
Microelectromechanical systems.
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IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers
         

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