Analysis of GaAs-Ti thin films deposited by sputtering onto c-Si and GaAs

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Título:	Analysis of GaAs-Ti thin films deposited by sputtering onto c-Si and GaAs
Autor/a:	Silvestre Bergés, Santiago; Puigdollers i González, Joaquim; Boronat, A.; Castañer Muñoz, Luis María
Otros autores:	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Abstract:	Some sputtering processes of GaAs and Ti onto glass, c-Si and c-GaAs substrates have been carried out in order to obtain thin films as candidates to be intermediate band photovoltaic materials. This work presents first results concerning the optical and structural properties of the different deposited thin films.
Materia(s):	-Àrees temàtiques de la UPC::Energies -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Electronic engineering -Telecomunication -Telecomunicació -Electrònica
Derechos:
Tipo de documento:	Artículo - Versión publicada Objeto de conferencia
Editor:	IEEE Press. Institute of Electrical and Electronics Engineers
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Silvestre Bergés, Santiago; Boronat, A.; Castañer Muñoz, Luis María

Boronat, A; Silvestre Bergés, Santiago; Fuertes Marrón, D.; Castañer Muñoz, Luis María; Martí, A.; Luque, Antonio

Arroyo, J.; Silvestre Bergés, Santiago; Coll Valentí, Arnau; Castañer Muñoz, Luis María

Boronat Moreiro, Alfredo; Silvestre Bergés, Santiago; Castañer Muñoz, Luis María

Boronat, Artur; Silvestre Bergés, Santiago; Castañer Muñoz, Luis María

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