Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/119
dc.contributor.author | Costa Castelló, Ramon |
---|---|
dc.contributor.author | Shkel, A.M. |
dc.contributor.author | Fargas Marquès, A. |
dc.date | 2005-09 |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/2117/119 |
dc.language.iso | eng |
dc.publisher | Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials |
dc.relation | Reports IOC |
dc.relation | IOC-DT-P-2005-18 |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.5 Spain |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess |
dc.rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/ |
dc.subject | Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Automàtica i control |
dc.title | Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. |
dc.type | info:eu-repo/semantics/report |
dc.description.abstract |