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A novel Σ-Δ pulsed digital oscillator (PDO) for MEMS
Domínguez Pumar, Manuel; Pons Nin, Joan; Ricart Campos, Jordi; Bermejo Pelayo, Agustin; Figueras Costa, Eduardo
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Microelectromechanical systems.
Oscillations.
Bandpass sigma-delta modulation
Circuit oscillations
Continuous-time simulation
Digital oscillator topology
Mechanical damping loss
Micromechanical resonators
Natural frequency
Oscillation frequency
Piezoresistive position sensing
Resonator damping loss
Sampling frequency
Steady-state position
Thermoelectric devices
Σ-Δ pulsed digital oscillator
MEMS resonator
PDO
Sistemes microelectromecànics
Oscil·ladors
Artículo
IEEE
         

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