Para acceder a los documentos con el texto completo, por favor, siga el siguiente enlace: http://hdl.handle.net/2117/2461

Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches
Molinero Giles, David; Comulada Simpson, Ricard; Castañer Muñoz, Luis María
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Microelectromechanical systems
Electric discharges
Capacitive microelectromechanical switches
C-V characteristics
Charge dynamics
Dielectric charge measurements
Discharges (electric)
Electrical resistivity
Ion gun
Microswitches
Permittivity
Pull-in shift
Resistivity-permittivity product
Time constants
Transient currents
Sistemes microelectromecànics
Descàrregues elèctriques
Artículo
American Institute of Physics
         

Mostrar el registro completo del ítem

Documentos relacionados

Otros documentos del mismo autor/a

Blokhina, Elena; Gorreta, Sergi; Lopez, David; Molinero Giles, David; Feely, Orla; Pons Nin, Joan; Domínguez Pumar, Manuel
Ahmadi Zeidabadi, Maziar; Bermejo Broto, Sandra; Castañer Muñoz, Luis María
Coll Valentí, Arnau; Bermejo Broto, Sandra; Castañer Muñoz, Luis María
Ahmadi, Maziar; Bermejo Broto, Sandra; Castañer Muñoz, Luis María