To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/2461

Dielectric charge measurements in capacitive microelectromechanical switches
Molinero Giles, David; Comulada Simpson, Ricard; Castañer Muñoz, Luis María
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Microelectromechanical systems
Electric discharges
Capacitive microelectromechanical switches
C-V characteristics
Charge dynamics
Dielectric charge measurements
Discharges (electric)
Electrical resistivity
Ion gun
Microswitches
Permittivity
Pull-in shift
Resistivity-permittivity product
Time constants
Transient currents
Sistemes microelectromecànics
Descàrregues elèctriques
Article
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Blokhina, Elena; Gorreta, Sergi; Lopez, David; Molinero Giles, David; Feely, Orla; Pons Nin, Joan; Domínguez Pumar, Manuel
Silvestre Bergés, Santiago; Boronat, A.; Castañer Muñoz, Luis María
Kowalski, Lukasz; Jimenez Serres, Vicente; Domínguez Pumar, Manuel; Gorreta Mariné, Sergio; Silvestre Bergés, Santiago; Castañer Muñoz, Luis María
Boronat Moreiro, Alfredo; Silvestre Bergés, Santiago; Castañer Muñoz, Luis María
 

Coordination

 

Supporters