To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/2445

Fixed charge density in dielectrics deposited on c-Si using space charge region dominated lifetime measurements
Garin Escriva, Moises; Martín García, Isidro; Bermejo Broto, Sandra; Alcubilla González, Ramón
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica::Microelectrònica
Dielectrics.
Silicon.
Charge density
Crystalline materials
Dielectric materials
Electric space charge
Lifetime measurements
Photoconductivity
Photoconductance techniques
Quasisteady-state
Silicon wafers
DRM
Dielèctrics
Silici
Article
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Ferré Tomas, Rafel; Martín García, Isidro; Vetter, Michael; Garin Escriva, Moises; Alcubilla González, Ramón
Alcubilla González, Ramón; Ortega Villasclaras, Pablo Rafael; López, G.; Martín García, Isidro; Bermejo Broto, Sandra; Blanqué, Servane; García Molina, Francisco Miguel; Orpella García, Alberto; Voz Sánchez, Cristóbal
Coll Valentí, Arnau; Bermejo Broto, Sandra; Martín García, Isidro; Alcubilla González, Ramón
Coll Valentí, Arnau; Bermejo Broto, Sandra; Martín García, Isidro; Ortega Villasclaras, Pablo Rafael; Alcubilla González, Ramón
Alcubilla González, Ramón; García Molina, Francisco Miguel; Ortega Villasclaras, Pablo Rafael; López Rodríguez, Gema; Orpella García, Alberto; Martín García, Isidro; Colina, M.; Voz Sánchez, Cristóbal; Bermejo Broto, Sandra; Puigdollers i González, Joaquim
 

Coordination

 

Supporters