To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/1780

A low-power-consumption out-of-Plane electrothermal actuator
Girbau Sala, David; Llamas Morote, Marco Antonio; Casals Terré, Jasmina; Simó Selvas, Francisco Javier; Pradell i Cara, Lluís; Lázaro Guillén, Antoni
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament de Teoria del Senyal i Comunicacions; Universitat Politècnica de Catalunya. RF&MW - Grup de Recerca de sistemes, dispositius i materials de RF i microones
Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria de la telecomunicació::Radiocomunicació i exploració electromagnètica::Circuits de microones, radiofreqüència i ones mil·limètriques
Microelectromechanical systems
Capacitors
Capacitors
Finite element analysis
Low-power electronics
Microactuators
MEMS
parallel-plate capacitors
Finite-element analysis
Vertical hot-cold actuator
In-plane buckle-beam actuator
Electrothermal actuator
Low-power-consumption
Microelectromechanical systems
Article
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Pradell i Cara, Lluís; Lázaro Guillén, Antoni; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S
Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Ribó, M.; Pradell i Cara, Lluís; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S
Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Plana, Robert; Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Pausas, Esther; Pradell i Cara, Lluís; Aouba, Stephane; Villneuve, C.; Puyal, Vincent; Pons, Patrick
Llamas Morote, Marco Antonio; Girbau Sala, David; Ribó, M.; Pradell i Cara, Lluís; Giacomozzi, Flavio; Colpo, S.; Coccetti, Favio; Aouba, Stephane
Llamas Morote, Marco Antonio; Pradell i Cara, Lluís; Girbau Sala, David; Ribó, Miquel; Lázaro Villa, José Antonio; Giacomozzi, Flavio; Margesin, Benno
 

Coordination

 

Supporters