To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/15643
Title: | Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data |
---|---|
Author: | Gordiets, F.B.; Inestrosa-Izurieta, M.J.; Navarro Sentanyes, Antonio; Bertran, Enric |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Química; Universitat Politècnica de Catalunya. SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Física -Nanoparticles -Nanotechnology -Thin films -Plasma chemistry -Nanopartícules -Nanotecnologia -Pel·lícules fines -Plasma |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Published by: |
American Institute of Physics (AIP); Published by American Institute of Physics |
Share: |