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Nano particles in SiH4-Ar plasma: Modelling and comparison with experimental data
Gordiets, F.B.; Inestrosa-Izurieta, M.J.; Navarro Sentanyes, Antonio; Bertran, Enric
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Química; Universitat Politècnica de Catalunya. SPPT - Superfícies, Productes i Processos Tèxtils
Àrees temàtiques de la UPC::Física
Nanoparticles
Nanotechnology
Thin films
Plasma chemistry
Nanopartícules
Nanotecnologia
Pel·lícules fines
Plasma
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Artículo
American Institute of Physics (AIP);
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