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Laser-fired contact optimization in c-Si solar cells
Alcubilla González, Ramón; Ortega Villasclaras, Pablo Rafael; Orpella García, Alberto; Martín García, Isidro; Colina, M.; López Rodríguez, Gema; Voz Sánchez, Cristóbal; Sánchez, Isabel; Molpeceres, Carlos
Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies
In this work we study the optimization of laser-fired contact (LFC) processing parameters, namely laser power and number of pulses, based on the electrical resistance measurement of an aluminum single LFC point. LFC process has been made through four passivation layers that are typically used in c-Si and mc-Si solar cell fabrication: thermally grown silicon oxide (SiO2), deposited phosphorus-doped amorphous silicon carbide (a-SiCx/H(n)), aluminum oxide (Al2O3) and silicon nitride (SiNx/H) films. Values for the LFC resistance normalized by the laser spot area in the range of 0.65–3 mΩ cm2 have been obtained.
Peer Reviewed
Àrees temàtiques de la UPC::Energies::Energia solar fotovoltaica
Solar cells
Photovoltaic effect
Energia solar
Cèl·lules solars
info:eu-repo/semantics/publishedVersion
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