To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2445/25054

A fully automated hot-wall multiplasma-monochamber reactor for thin film deposition
Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Chevrier, J. B.; Huc, J.; Lloret, A.; Parey, J. Y.; Schmitt, J. P. M.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Semiconductors amorfs
Radiofreqüència
Cèl·lules solars
Thin films
Amorphous semiconductors
Radio frequency
Solar cells
(c) American Institute of Physics, 1991
Article
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Cifre, J.; Bertomeu i Balagueró, Joan; Puigdollers i González, Joaquim; Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Andreu i Batallé, Jordi; Lloret, A.
Puigdollers i González, Joaquim; Cifre, J.; Polo Trasancos, Ma. del Carmen; Bertomeu i Balagueró, Joan; Andreu i Batallé, Jordi; Lloret, A.
Lloret, A.; Bertran Serra, Enric; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Morenza Gil, José Luis
Andújar Bella, José Luis; Bertran Serra, Enric; Canillas i Biosca, Adolf; Campmany i Guillot, Josep, 1966-; Serra-Miralles, J.; Roch i Cunill, Carles; Lloret, A.
Roura Grabulosa, Pere; Farjas Silva, Jordi; Rath, Chandana; Serra-Miralles, J.; Bertrán Serra, Enric; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
 

Coordination

 

Supporters