To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2445/25058

Phase-modulated ellipsometer using a Fourier transform infrared spectrometer for real time applications
Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther; Drévillon, B.
Universitat de Barcelona
2012-05-08
El·lipsometria
Fourier transformations
Espectroscòpia infraroja
Pel·lícules fines
Ellipsometry
Fourier transformations
Infrared spectroscopy
Thin films
(c) American Institute of Physics 1993
Article
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther
Canillas i Biosca, Adolf; Ferrater Martorell, Cèsar; Varela Fernández, Manuel, 1956-; Bertomeu i Balagueró, Joan; Pascual Miralles, Esther
Canillas i Biosca, Adolf; Ferrater Martorell, Cèsar; Varela Fernández, Manuel, 1956-; Bertomeu i Balagueró, Joan; Pascual Miralles, Esther
Arteaga Barriel, Oriol; Baldrís, Marta; Antó Roca, Joan; Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther; Bertrán Serra, Enric
 

Coordination

 

Supporters