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Phase-modulated ellipsometer using a Fourier transform infrared spectrometer for real time applications
Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther; Drévillon, B.
Universitat de Barcelona
08-05-2012
El·lipsometria
Fourier transformations
Espectroscòpia infraroja
Pel·lícules fines
Ellipsometry
Fourier transformations
Infrared spectroscopy
Thin films
(c) American Institute of Physics 1993
Artículo
American Institute of Physics
         

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