To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2445/25045

Production of nanometric particles in radio frequency glow discharges in mixtures of silane and methane
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Zhang, R. Q.
Universitat de Barcelona
Radiofreqüència
Ceràmica industrial
Aliatges de silici
Pel·lícules fines
Radio frequency
Ceramics
Silicon alloys
Thin films
(c) American Institute of Physics, 1996
Article
American Institute of Physics
         

Show full item record

Related documents

Other documents of the same author

Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther
Bertrán Serra, Enric; Sharma, S. N.; Viera Mármol, Gregorio; Costa i Balanzat, Josep; St'ahel, P.; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
Das, Debabrata; Farjas Silva, Jordi; Roura Grabulosa, Pere; Viera Mármol, Gregorio; Bertrán Serra, Enric
Viera Mármol, Gregorio; Mikikian, M.; Bertrán Serra, Enric; Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Boufendi, L.
 

Coordination

 

Supporters