Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2445/25045

Production of nanometric particles in radio frequency glow discharges in mixtures of silane and methane
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Zhang, R.Q.
Universitat de Barcelona
08-05-2012
Radiofreqüència
Ceràmica industrial
Aliatges de silici
Pel·lícules fines
Radio frequency
Ceramics
Silicon alloys
Thin films
(c) American Institute of Physics 1996
Article
American Institute of Physics
         

Mostra el registre complet del document

Documents relacionats

Altres documents del mateix autor/a

Bertrán Serra, Enric; Sharma, S. N.; Viera Mármol, Gregorio; Costa i Balanzat, Josep; St'ahel, P.; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther
Courteille, C.; Hollenstein, Ch.; Dorier, J. L.; Gay, P.; Schwarzenbach, W.; Howling, A. A.; Bertrán Serra, Enric; Viera Mármol, Gregorio; Martins, R.; Macarico, A.