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Atomic structure of the nanocrystalline Si particles appearing in nanostructured Si thin films produced in low-temperature radiofrequency plasmas
Viera Mármol, Gregorio; Mikikian, M.; Bertrán Serra, Enric; Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Boufendi, L.
Universitat de Barcelona
Estructura atòmica
Nanocristalls
Silici
Atomic structure
Nanocrystals
Silicon
Thin films
Plasma (Ionized gases)
Pel·lícules fines
Plasma (Gasos ionitzats)
(c) American Institute of Physics, 2002
Artículo
American Institute of Physics
         

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