Per accedir als documents amb el text complet, si us plau, seguiu el següent enllaç: http://hdl.handle.net/2445/24793

Polymorphous Si thin films from radio frequency plasmas of SiH4 diluted in Ar: A study by transmission electron microscopy and Raman spectroscopy
Viera Mármol, Gregorio; Huet, S.; Bertrán Serra, Enric; Boufendi, L.
Universitat de Barcelona
Pel·lícules fines
Espectroscòpia Raman
Nanoestructures
Microelectrònica
Radiofreqüència
Optoelectrònica
Thin films
Raman spectroscopy
Nanostructures
Microelectronics
Radio frequency
Optoelectronics
(c) American Institute of Physics, 2001
Article
American Institute of Physics
         

Mostra el registre complet del document

Documents relacionats

Altres documents del mateix autor/a

Viera Mármol, Gregorio; Mikikian, M.; Bertrán Serra, Enric; Roca i Cabarrocas, P. (Pere); Boufendi, L.
Bertrán Serra, Enric; Sharma, S. N.; Viera Mármol, Gregorio; Costa i Balanzat, Josep; St'ahel, P.; Roca i Cabarrocas, P. (Pere)
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Andújar Bella, José Luis; Canillas i Biosca, Adolf; Pascual Miralles, Esther
Das, Debabrata; Farjas Silva, Jordi; Roura Grabulosa, Pere; Viera Mármol, Gregorio; Bertrán Serra, Enric
Bertrán Serra, Enric; Costa i Balanzat, Josep; Viera Mármol, Gregorio; Zhang, R. Q.