Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS

All of RECERCAT

To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/97460

Title:	Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS; Control simultani de càrrega i capacitat per a dispositius MEMS; Control simultáneo de carga y capacidad para dispositivos MEMS
Author:	Gorreta Mariné, Sergio
Other authors:	Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Pons Nin, Joan
Abstract:	Design, implementation and experimental verification of a control system for simultaneous control of dielectric charge and device capacitance in contactless capacitive MEMS.
Abstract:	Simultaneous control of dielectric charging and device capacitance for contactless electrostatic MEMS
Abstract:	Método de control para la estabilización de la carga atrapada en la capa dieléctrica de dispositivos MEMS y su capacidad.
Abstract:	Mètode de control per a l'estabilització de la càrrega atrapada en la capa dielèctrica de dispositius MEMS i la seva capacitat.
Subject(s):	-Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Electromechanical decives -Electronic control -MEMS -electronics -control -electrónica -Dispositius electromecànics -Control electrònic
Rights:
Document type:	Bachelor Thesis
Published by:	Universitat Politècnica de Catalunya
Share: