To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/21460
Title: | High-density capacitor devices based on macroporous silicon and metal electroplating |
---|---|
Author: | Vega, Didac; Reina Marsinyach, Jordi; Pavón Urbano, Ramón; Rodríguez Martínez, Ángel |
Other authors: | Universitat Politècnica de Catalunya. Departament d'Enginyeria Electrònica; Universitat Politècnica de Catalunya. MNT - Grup de Recerca en Micro i Nanotecnologies |
Abstract: | |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Enginyeria electrònica -Porous silicon -Capacitors -Electrochemical etching -Electrodeposition -High density capacitors -Porous silicon -Silici porós -Condensadors elèctrics |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/es/ |
Document type: | Article - Published version Article |
Share: |