To access the full text documents, please follow this link: http://hdl.handle.net/2117/119
Title: | Modelling the electrostatic actuation of MEMS: state of the art 2005. |
---|---|
Author: | Costa Castelló, Ramon; Shkel, A.M.; Fargas Marquès, A. |
Abstract: | |
Subject(s): | -Àrees temàtiques de la UPC::Informàtica::Automàtica i control |
Rights: | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 2.5 Spain
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/2.5/es/ |
Document type: | Report |
Published by: | Universitat Politècnica de Catalunya. Institut d'Organització i Control de Sistemes Industrials |
Share: |